半导体制造过程中，洁净室的空气洁净度直接影响半导体产品的质量与合格率，微小的尘埃粒子可能导致半导体元件性能异常甚至报废，因此需要专业的尘埃粒子计数仪器对洁净室空气进行精准监控，6 通道粒子计数器作为符合行业标准的专业设备，在半导体制造洁净室中发挥着关键作用。这款 6 通道粒子计数器符合国家计量总局颁布的 JJF1190-2008《尘埃粒子计数器校准规范》规程的技术要求，同时也满足 GB/T 6167-2007 标准，整机采用激光散射技术，能够对半导体制造洁净室的粒子浓度进行实时、连续的监控，确保洁净室环境始终符合生产需求。

在半导体制造洁净室中，不同粒径的尘埃粒子对生产的影响不同，6 通道粒子计数器能够同时检测 0.3μm、0.5μm、1μm、3μm、5μm、10μm 六个通道的粒子个数，覆盖了半导体制造过程中需要重点关注的粒子粒径范围，其检测范围可达 1,020,000 /L，能够满足半导体制造洁净室对不同浓度粒子检测的需求。该仪器采用泵吸主动采样方式，采样流速可实时监测且可控，采样间隔也能根据半导体洁净室的不同监测需求进行调整，同时支持泵吸间歇采样，工作连续稳定且节能环保，适配半导体制造过程中长时间、不间断的监控场景。考虑到半导体制造洁净室对洁净度等级要求极高，这款 6 通道粒子计数器能够满足百级以上洁净环境的粒子检测需要，符合 ISO 14644-1 ISO5 级 - ISO9 级的监控级别，同时也符合 GMP 动态、GMP 静态以及 ISO-14644-1 的判定要求，完全适配半导体行业的洁净标准。

半导体制造洁净室的环境参数会对检测精度产生影响，6 通道粒子计数器内置湿度补偿功能，能够有效克服湿度变化对检测精度的干扰，确保在相对湿度 10~90% RH 的使用环境下，依然能保持准确的检测结果，其重复性相对误差在相同测量条件下为粒子浓度连续测量值 ±10%，粒径分布误差≤±10%@0.5μm，计数效率达到 50%@0.3μm、100%@≥0.5μm，为半导体制造洁净室提供可靠的检测数据。仪器选用长寿命气泵，在设备出厂模式下使用寿命可达 3 年以上，减少了半导体工厂在设备维护和更换上的成本与精力投入；配备的 4.3 寸 LCD 大屏能够清晰呈现各通道实时检测数据，方便工作人员随时查看洁净室的粒子浓度情况；同时具备数据存储功能，可存储历史检测数据和报警记录，便于半导体制造过程中对洁净室环境的追溯与分析，为生产工艺优化提供数据支持。

针对半导体制造洁净室可能存在的粒子浓度超限问题，6 通道粒子计数器支持报警浓度设置，当洁净室粒子浓度超限时，显示屏会出现提示图符警示，同时输出声光报警信号，工作人员能够及时发现并处理洁净度异常情况，避免不合格环境影响半导体生产。在安装与使用方面，该仪器整体重量仅 2.3kg，外形尺寸为长 190× 宽 63× 高 156.3mm，小巧美观，可选择墙面安装或桌面放置，适配半导体制造洁净室不同的安装空间需求；采用 12VDC 供电，提供一路 RS485 输出且支持 MODBUS RTU 协议，方便进行组网使用，同时可扩展 4G、LORA、WIFI 无线传输方式，还支持 RJ45 以太网传输及 TCP/IP MQTT、HTTP 协议，能够实现半导体制造洁净室的多点监控，覆盖洁净室的各个生产区域，确保整体环境的洁净稳定。

这款 6 通道粒子计数器凭借其精准的检测能力、稳定的性能和灵活的适配性，成为半导体制造洁净室空气洁净度监控的重要设备，为半导体产品的高质量生产提供保障，也为半导体工厂的洁净室管理提供了便利，是半导体行业洁净环境监控中不可或缺的尘埃粒子计数仪器。